Hezetasuna ohiko ingurumen-kontrol baldintza da gela garbien funtzionamenduan. Erdieroaleen gela garbian hezetasun erlatiboaren helburu-balioa % 30etik % 50era bitartekoa izateko kontrolatzen da, errorea ± % 1eko tarte estu batean egon dadin, hala nola fotolitografia-eremu batean – edo are txikiagoa izpi ultramore urruneko prozesamendu-eremuan (DUV). – Beste leku batzuetan, ± % 5eko tartean egon zaitezke.
Hezetasun erlatiboak hainbat faktore ditu gela garbiaren errendimendu orokorrean eragina izan dezaketenak, besteak beste:
● bakterioen hazkuntza;
● Langileek giro-tenperaturan sentitzen duten erosotasun-tartea;
● Karga estatikoa agertzen da;
● metalen korrosioa;
● Ur-lurrunaren kondentsazioa;
● litografiaren degradazioa;
● Uraren xurgapena.
Bakterioak eta beste kutsatzaile biologiko batzuk (lizunak, birusak, onddoak, akaroak) aktiboki ugaldu daitezke % 60tik gorako hezetasun erlatiboa duten inguruneetan. Flora batzuk haz daitezke hezetasun erlatiboa % 30etik gorakoa denean. Hezetasun erlatiboa % 40 eta % 60 artean dagoenean, bakterioen eta arnas infekzioen ondorioak minimizatu daitezke.
% 40tik % 60ra bitarteko hezetasun erlatiboa ere gizakiek erosotasun sentsazio-tarte apala da. Gehiegizko hezetasunak deprimituta sentiarazi ditzake pertsonak, eta % 30etik beherako hezetasunak, berriz, lehortasuna, pitzadurak, arnasketa-ondorioak eta ondoeza emozionala eragin ditzake.
Hezetasun altuak, hain zuzen ere, gela garbiaren gainazalean karga estatikoen metaketa murrizten du; hori da nahi den emaitza. Hezetasun baxuagoa egokiagoa da karga metatzeko eta deskarga elektrostatikoen iturri kaltegarria izan daiteke. Hezetasun erlatiboa % 50etik gorakoa denean, karga estatikoa azkar desagertzen hasten da, baina hezetasun erlatiboa % 30etik beherakoa denean, denbora luzez iraun dezake isolatzailean edo lurrera konektatuta ez dagoen gainazalean.
% 35 eta % 40 arteko hezetasun erlatiboa konpromiso egokia izan daiteke, eta erdieroaleen gela garbiek normalean kontrol gehigarriak erabiltzen dituzte karga estatikoen metaketa mugatzeko.
Erreakzio kimiko askoren abiadura, korrosio-prozesua barne, handitu egingo da hezetasun erlatiboa handitzen den heinean. Gela garbiaren inguruko airearen eraginpean dauden gainazal guztiak azkar estaltzen dira gutxienez ur-geruza batekin. Gainazal horiek urarekin erreakziona dezakeen metal-geruza mehe batez osatuta daudenean, hezetasun altuak erreakzioa bizkortu dezake. Zorionez, metal batzuek, hala nola aluminioak, babes-oxido bat sor dezakete urarekin eta oxidazio-erreakzio gehiago eragotzi; baina beste kasu batek, hala nola kobre-oxidoak, ez du babesik ematen, beraz, hezetasun handiko inguruneetan, kobrezko gainazalak korrosioarekiko sentikorragoak dira.
Gainera, hezetasun erlatibo handiko ingurune batean, fotoerresistentea zabaldu eta okerrera egiten du labekatze zikloaren ondoren, hezetasuna xurgatzen delako. Fotoerresistentearen atxikimendua ere negatiboki eragin dezake hezetasun erlatibo altuagoak; hezetasun erlatibo baxuagoak (% 30 inguru) fotoerresistentearen atxikimendua errazten du, polimero aldatzailerik behar izan gabe ere.
Erdieroaleen gela garbi batean hezetasun erlatiboa kontrolatzea ez da arbitrarioa. Hala ere, denborak aurrera egin ahala, hobe da ohiko praktika onartuen arrazoiak eta oinarriak berrikustea.
Hezetasuna ez da bereziki nabarmena izango gure gizakien erosotasunerako, baina askotan eragin handia du ekoizpen-prozesuan, batez ere hezetasuna handia den lekuetan, eta hezetasuna askotan kontrol okerrena da, horregatik gela garbiaren tenperatura eta hezetasunaren kontrolean, hezetasuna nahiago da.
Argitaratze data: 2020ko irailaren 1a